飞纳台式电镜能谱一体机具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析，将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，技术支持也变得相对简单快速。

　　电镜能谱一体机是全数字化控制，电子显微成像分析仪器，配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图，能够对微米亚微米范围化学元素组成进行快速鉴定，即使未经专业培训，也能够得心应手。

　　电镜能谱一体机全数字控制，专业级电子显微成像仪器，标配探测器，可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品，主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能，轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能，集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析于一体，电镜操作简单，效率高，无需防震台和磁屏蔽，无楼层要求。

　　飞纳台式电镜能谱一体机腔室设计得到探测角度和工作距离，显著提高X射线的收集效率，采用稳定坚固的超薄窗口，透过率在低能量范围，是聚合物窗口的2-3倍，适合轻元素检测和低电压能谱分析。飞纳台式电镜能谱一体机的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在对厚块试样的观察进行比较时，因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法，而复膜的分辨率通常只能达到10nm，且观察的不是试样本身，因此，用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。

    由于工作距离大(可大于20mm)，焦深大(比透射电子显微镜大10倍)，样品室的空间也大，因此，可以让试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)，且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来大的方便。