1、样品要尽可能干燥，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去；若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；

 

　　2、热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解，释放气体和其他物质，污染电镜；

 

　　3、导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；

 

　　4、不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，损害电镜；

 

　　5、试样(表面)导电的固体，试样可以是块状或粉未状。不导电的试样，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜；

 

　　对于块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外，基本上不需要进行什么制备，用导电胶把试样粘结在样品座上，即可放在扫描电镜中观察。

 

　　全自动扫描电镜对于块状的非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜，以避免在电子束照射下产生电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

 

　　6、试样在高真空中能保持稳定；

 

　　7、表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干。新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或断面的结构状态；

 

　　有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀，才能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。

 

　　8、全自动扫描电镜用的试样大小要适合仪器专用样品座的尺寸，不能过大，样品座尺寸各仪器不均相同，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制。