台式扫描电子显微镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

 

　　台式扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。

 

　　扫描电镜的另一个重要特点是景深大，图像立体扫描电镜的透射电镜是光学显微镜的10倍由于图像景深较大，获得的扫描电子图像具有三维感强、形状三维等特点，比其他显微镜能提供更多的信息，对用户有很大的价值扫描电镜所表明断裂形态从深层和高景深的角度反映了材料断裂的性质，在教学科研和生产中具有不可替代的作用，是材料断裂原因分析、事故原因分析、工艺合理性确定等方面的有力工具。

 

　　因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较，由于用于观察的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小，电子探针的能量也小此外，它不会在固定处照射样品，而是通过光栅扫描照射样品因此，对一些生物样品进行观察是非常重要的，因为样品的损伤和污染程度都很小。