高分辨率台式扫描电镜主要包括真空泵和真空柱两部分，真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求。

 

　　高分辨率台式扫描电镜由真空系统、电子光学系统、样品室和样品台、电子探测器、背散射电子探头、真空泵、自动稳压器、工具、计算机、操作软件及附件组成，主要用于材料科学、化学化工、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种扫描电镜工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测。

 

　　电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增加电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。

 

　　不仅可在真空下，还可在大气压下进行观察，含水样品也无需前处理即可直接观察，是目前市面上一款大气压模式下观测的扫描电镜，免去了了生物，食品，化妆品等样品复杂的前处理过程，同时还能观察样品的原始形貌。

 

　　台式扫描电镜直观便捷的四步工作流程可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率。您会比以往更快、更多的获取数据。扫描电镜有较高的放大倍数，几万～几十万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单。

 

　　目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。