扫描式电子显微镜以其高分辨率、大放大倍数、样品制备简单和综合分析能力强等特点，在材料科学、生物医学、地质学、电子元件检测以及文物保护与鉴定等领域发挥着重要作用，是现代科学研究和工业生产中不可少的重要工具。
 

　　扫描式电子显微镜的作用：
 

　　1.材料科学研究：在金属材料中，可用于观察金属的微观结构，如晶界、位错等缺陷，帮助研究材料的力学性能和加工性能。对于非金属材料，如陶瓷、高分子材料等，可以观察其表面形貌、孔隙结构等，为材料的制备和应用提供依据。
 

　　2.生物医学领域：可对细胞、细菌、病毒等生物样本进行观察，获取其形态、大小、结构等信息，有助于疾病的诊断和治疗。还可用于观察生物组织的结构，如血管、神经等，为医学研究和临床应用提供重要的参考依据。
 

　　3.地质学研究：能够观察岩石、矿物的微观结构和组成，帮助地质学家了解地球的内部结构和演化过程。例如，通过扫描电镜可以观察到岩石中的矿物颗粒、孔隙、裂缝等微观特征，为油气勘探、矿产资源开发等提供重要的信息。
 

　　4.电子元件检测：可用于检测电子元件的表面缺陷、内部结构、焊接质量等，确保电子元件的可靠性和稳定性。在半导体芯片制造中，扫描电镜可以用于观察芯片的微观结构和电路图案，帮助工程师进行芯片的设计和制造。
 

　　以下是扫描式电子显微镜的测定步骤：
 

　　1.准备工作：确保室内环境干燥且无尘，接通扫描电子显微镜的电源，并使其处于合适的工作温度。
 

　　2.样品制备：将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金。将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。取出样品。
 

　　3.设置成像参数：使用控制软件，设置所需的成像参数，包括放大倍数、电子束电压、检测器类型、扫描速度等。这些参数会影响图像的分辨率和对比度。
 

　　4.观察与调焦：启动电子束并开始成像，在成像过程中实时观察屏幕上的图像，确保获得所需的图像质量。必要时根据观察结果进行参数调整，包括调整放大倍数、电子束电压、焦距等，以获得更清晰的图像。同时，调节聚焦旋钮和像散旋钮，使图像达到最大清晰度。
 

　　5.数据记录与保存：SEM软件通常允许捕获图像和数据，将其保存在计算机中或导出到其他文件格式中以供进一步分析。
 

　　6.结束操作：成像完成后，关闭电子束并保存所有设置。移除样品并将其妥善存储。关闭扫描电镜并断电。