扫描式电子显微镜能够提供纳米级别的高分辨率图像，其分辨率远高于光学显微镜。这是因为电子束的波长比可见光短得多，能够更清晰地观察样品表面的微小细节，如纳米材料的颗粒尺寸、生物样本的细胞结构等。
 

　　-立体感强：具有较大的景深，能够在保持高分辨率的同时，获得大视野的清晰图像，使样品表面的凹凸不平结构呈现出明显的立体感，有助于更直观地了解样品的表面形貌和三维结构。
 

　　-样品制备简单：相对于透射电镜等其他高分辨率显微技术，对样品的制备要求相对较低。样品可以是块状、粉末、薄膜等各种形态，只需进行简单的处理，如清洁、固定等，即可直接放入电镜中观察，大大减少了样品制备的复杂性和时间成本。
 

　　-成分分析功能：配备X射线能谱仪(EDS)等附件后，不仅可以观察样品的表面形貌，还能够对样品进行微区成分分析。通过检测样品在电子束激发下产生的特征X射线，可以确定样品中各种元素的种类和含量，实现对样品的形貌和成分的同时分析。
 

　　-广泛的应用范围：在材料科学、生物学、医学、地质学、物理学、化学等众多领域都有广泛的应用。例如，在材料科学中用于研究材料的微观结构、表面缺陷、相变过程等；在生物学中用于观察细胞、细菌、病毒等生物样本的形态和结构；在医学中可用于病理诊断、药物研发等方面。

 

　　扫描式电子显微镜测定步骤：
 

　　1.样品制备
 

　　-清洁：去除样品表面的污染物，如灰尘、油脂等。
 

　　-固定：保持样品的形貌，防止在后续操作中发生变形。
 

　　-脱水：对于含水分的样品，需进行脱水处理，以避免电子束损伤。
 

　　-镀膜：根据样品性质选择合适的镀膜方法，如溅射镀金，以增强样品的导电性和表面成像效果。
 

　　-安装：将处理好的样品固定在样品台上，确保样品稳定且与电子束垂直。
 

　　2.仪器预热与参数设置
 

　　-预热：打开扫描电子显微镜电源，进行预热，使仪器达到稳定的工作状态。
 

　　-参数设置：根据样品的性质和观察需求，设置合适的加速电压、探针电流、工作距离等参数。
 

　　3.抽真空
 

　　-初级抽真空：关闭样品室门，启动机械泵进行初级抽真空，排除大部分空气。
 

　　-高真空抽气：当真空度达到一定程度后，启动涡轮分子泵进行高真空抽气，直至达到仪器所需的真空度。
 

　　4.加载样品与寻址
 

　　-加载样品：在高真空状态下，将装有样品的样品台放入样品室，并关闭样品室门。
 

　　-寻址观察：通过粗定位和细定位，找到需要观察的样品区域。
 

　　5.图像观察与采集
 

　　-观察：开启电子束，对样品进行扫描观察。通过调整焦距、亮度、对比度等参数，获得清晰的图像。
 

　　-采集：使用相机或计算机软件采集图像数据，并进行保存和处理。
 

　　6.关机与清理
 

　　-关机：关闭电子束、真空系统和电源等设备，按照仪器操作规程进行关机操作。
 

　　-清理：清理样品室、镜头和仪器表面等部位，保持仪器整洁。